半导体设备自动化控制软件平台

设备软件平台
针对工业设备打造的工业产品控制软件平台FastAutomic，简称(FST平台)
•基于PC上位机控制，支持多种现场总线，实时工业以太网。
• Schedule机制，控制自由度高，可实现复杂的多机器人调度。
• 具备大型生产线工厂自动化FA远程主机交互接口，SECS II/GEM。

• FST平台是灵活的OEM平台，可用于加速设备自动化控制系统的研发周期，为设备厂商缩短研发时间和减少研发成本。
•有助于在整个设备交付生命周期（包括设计、开发、测试和支持）中提高工程生产力
• 使设备厂商的团队专注于核心技术的研发增加竞争价值。
• FST平台的模块化、配置化协助设备厂商用较短的时间，较少量的代码，开发出高效能，高质量的自动化设备控制系统。

哥瑞利设备软件平台优势：
1、简洁的人机界面控件拖拽便捷开发
2、基于工业以太网总线的控制方式，配线简单方便，提升可维护性
3、完全自主知识产权，底层修改无限制
4、丰富的半导体设备使用经验，长达多年的客户现场稳定性测试

设备软件平台 
平台模块介绍：全组件模块化设计，加快开发速度与成本
• FST设备软件平台，方便扩展到新的设备，如清洗、Etch、CVD、Strip以及各类非标设备
• 标准SECS II/GEM组件
• Scheduler系统组件化
• 硬件驱动组件化
• 状态机模型，日志管理，Job管理，Recipe管理等模块化
• UI组件，方便增加新的Process Module，Chamber Module，Transfer Module等
• Alarm、Interlock脚本化，*修改逻辑层源代码，修改配置文件即可
后台核心逻辑C++语言开发，UI使用C#语言开发，数据库使用MySQL
硬件总线架构采用EtherCAT等工业以太网、TCP/IP、串口
用户的软件工程师只需关
注和设计CTC二次开发工程
设备控制软件现状存在的问题？
1、开发成本高：
控制软件高度定制化因应不同客户需求，皆需要开发人员定制化开发，耗时耗人力
2、通讯不统一
联机不易每个客户上层协议都不一样，无法满足需要寻找外包客制化，成本高
3、管理不易
单机管理设备单机运行，收集设备数据内与软件更新都需要到现场实施
4、无竞争力
无加值服务，除了提供基础设备服务，单机设备难以提供软件相关加值服务